等離子清洗的應(yīng)用，起源于20世紀初，隨著高科技產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，其應(yīng)用越來越廣，目前已在眾多高科技領(lǐng)域中，居于關(guān)鍵技術(shù)的地位。等離子清洗技術(shù)對產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟和人類文明影響最大，首推電子資訊工業(yè)，尤其是半導體業(yè)與光電工業(yè)。隨著越來越多行業(yè)應(yīng)用到等離子清洗機，怎么選擇適合自己的等離子清洗機就成為了人們的一個問題，今天我們就來談?wù)務(wù)婵盏入x子清洗機該如何選型。

真空等離子清洗機該如何選型，我們主要從以下幾個方面來考慮。

首先我們我們從腔體大小來確定等離子清洗機的型號，腔體大小主要從以下兩個方面予以考慮。

一、工件的大小

一般來說真空等離子清洗機的分類的話主要是按照腔體尺寸和腔體材質(zhì)來分的，選擇腔體尺寸時第一個要考慮的就是工件大小，也就是我們至少要能把工件放下去，如果工件連放都放不下去，再考慮其他因素也沒有多大的意義。

二、產(chǎn)能

任何產(chǎn)品如果有產(chǎn)能要求的話，肯定是需要根據(jù)產(chǎn)能來選腔體大小，腔體越大也就意味著一次能處理的產(chǎn)品也就更多，如果對產(chǎn)能沒有太多要求的話，優(yōu)先考慮工件大小。在工件能夠放下的前提下，我們在根據(jù)產(chǎn)能計算得出合適的腔體尺寸。

第二個我們要考慮的問題，就是選擇哪種頻率的等離子清洗機

頻率的選擇

目前常見的頻率有40KHz和13.56MHz，20Mhz。40kHz的自偏壓為1000V左右，13.56MHz自偏壓為250V左右，20MHz的自偏壓則更低，這三種激發(fā)頻率的機制不同，40kHz發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng)，13.56MHz發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學反應(yīng)，20MHz有物理反應(yīng)但更主要的反應(yīng)為化學反應(yīng)，需要對材料進行活化、改性的要用13.56MHz或者20MHz的等離子體清洗40kHz的自偏壓為1000V左右，13.56MHz自偏壓為250V左右，20MHz的自偏壓則更低，這三種激發(fā)頻率的機制不同，40kHz發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng)，13.56MHz發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學反應(yīng)，20MHz有物理反應(yīng)但更主要的反應(yīng)為化學反應(yīng)，需要對材料進行活化、改性的要用13.56MHz或者20MHz的等離子體清洗。

腔體材質(zhì)的選擇

目前常見的腔體材質(zhì)有以下幾種，石英腔體，不銹鋼腔體，鋁合金腔體，三種腔體各有各的優(yōu)勢，石英腔體溫度低，且不易發(fā)生反應(yīng)。鋁合金腔體的優(yōu)勢：1、 鋁合金密度低，強度高，超過優(yōu)質(zhì)鋼，機械加工性能比較好。 2、 鋁具有優(yōu)良的導電性、導熱性和抗蝕性。 3、材料對化學反應(yīng)的兼容性比較好，不易產(chǎn)生金屬污染、particle等。

真空泵的選擇

是選擇國產(chǎn)的泵，還是進口的，是干泵還是油泵，是單級泵，還是雙極泵，每一種真空泵的選擇都可以根據(jù)客戶的實際需要來選取，這里就不做過多的贅述。

氣路的選擇

常見的真空等離子清洗機都是兩路氣體通道，但是這并不能滿足所有的處理需求，如果需要更多的反應(yīng)氣體，那么氣體通道就要適當增加，這個也是根據(jù)客戶的實際需求來選擇幾路氣體通道。